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真空静电封接机

详细介绍

真空静电封接机

真空静电封接机的设备用途、特点:

真空静电封接机用于传感器和集成电路制造技术的后道关键工序,实现芯片的无应力、无蠕变封装;以保证高灵敏度、高精度的传感器器件性能、质量以及成品率;是传感器和集成电路制造技术的关键设备。封接电压可调,极性可变,可满足单面封接和双面封接,电极采用多点浮动加压方式。封接温度可调,加热元件采用内热板式加热,热效率高, 寿命长。

封接机技术指标:

真空静电封接机

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